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大連澳森發動機

首頁 - 研發成果研發成果
近年來研發團隊承擔的國家級項目包括:
1、國家自主創新與高技術產業化項目:極大規模集成電路清洗化學品的產業化。
2、國家自然科學基金重大研究計劃“納米制造的基礎研究”:銅互連層表面的約束刻蝕化學平坦化新方法。
3、國家自然科學基金重大研究計劃“納米制造的基礎研究”:納米磨削誘導新型半導體薄膜表面納米晶化材料去除機理。
4、中國博士后科學基金(一等):高效銅化學機械拋光表面缺陷與平坦化技術研究。

5、常熟市2012年領軍人才項目:半導體和光電子器件超精密研磨、拋光和清洗配套材料。





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